Описана конструкция лабораторной установки для получения наноразмерных аморфных пленок фосфор-оксинитрида лития (LiPON) с помощью метода высокочастотного магнетронного напыления. Каждый блок установки был модернизирован, чтобы основные параметры напыления (ВЧ-мощность, температура подложки, время напыления, давление рабочего газа) можно было регулировать в широком диапазоне. Установлена взаимосвязь между режимами напыления и микроструктурой пленок LiPON. Установлено, что полученные пленки LiPON характеризуются высокой величиной ионной проводимости при комнатной температуре (<$E 3,2~cdot~10 sup -6 ~ roman Ом sup -1 ~cdot~ roman см sup -1>) и энергией активации 0,27 эВ. Изготовлен композиционный твердый электролит LIPON/LLTO/LIPON, который обладает высокой химической стойкостью при контакте с металлическим литиевым анодом, высокой ионной проводимостью и может быть использован в электрохимических устройствах.

• В'юнов Олег Іванович (1968–) (хімічні науки)
• Коваленко Леонід Леонідович (1972–) (хімічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"