Приведены экспериментальные результаты по получению в плазме тлеющего разряда легированных азотом проводящих наноструктурных алмазных покрытий. Изучено влияние условий синтеза покрытий на их структуру и свойства. Определены зависимости скорости роста покрытий и зависимости величины удельного сопротивления от параметров синтеза в широком диапазоне их изменения. Показано, что изменения электропроводности наноструктурных алмазных пленок при легировании их азотом связаны, прежде всего, с изменениями электропроводности межзеренных прослоек, а не с изменениями размеров зерен алмазной фазы.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Воєводін Віктор Миколайович (1946–2021) (фізико-математичні науки)
• Решетняк Олена Миколаївна (фізико-математичні науки)
• Горбань Віктор Федорович (1944–) (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"