Проведено експериментальне та теоретичне дослідження закономірностей структурно-фазових перетворень за термічного оброблення у вакуумі та водні нанорозмірних плівкових композицій Cu/Sn, Sn/Cu, Cu/Mn, Sn/Cu/Mn, Pd/Ho. Результати, які мають наукову новизну, стосуються впливу на розвиток дифузійного фазоутворення: фактору нанорозмірності, послідовності розташування шарів відносно підкладинки та їх інверсії, додавання третього шару до двошарових композицій, атмосфери термічної обробки, фізико-хімічних процесів на зовнішній поверхні. Поглиблено аналітичні та феноменологічні модельні уявлення щодо дифузійного фазоутворення в об'ємі та росту оксиду матеріалу "нижнього" шару на зовнішній поверхні нанорозмірних плівкових систем за різних механізмів дифузії під дією термічного впливу. На цій основі запропоновано матеріалознавчі критерії для визначення режимів термічного оброблення, які забезпечують підвищення стабільності робочих тонкоплівкових елементів мікроприладобудування та керованості технологічних процесів їх виробництва.

• Олешкевич Анна Ігорівна (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"