Увагу приділено встановленню впливу товщини молібденового шару, тиску робочого газу та потенціалу зміщення на підкладці на структурний стан шарів молібдену й аморфних перемішаних зон (АПЗ) в багатошарових покриттях (БП) Mo/Si. Перехід молібдену з аморфно-кластерного стану в кристалічний відбувається в інтервалі номінальної товщини 1,9 < t_Mo^HOM < 2,5 нм. Кристали, які утворюються, мають нерівновісну форму з розмірами 3 ÷ 4 × 15 ÷ 30 нм. Зміна тиску робочого газу в інтервалі 0, 213 - 0, 266 Па супроводжується зменшенням усадки БП, яка обумовлена зміною хімічного складу АПЗ від силіциду MoSi₂ до Mo₅Si₃ на міжфній межі Мо-на-Si. Встановлено, що збільшення потенціалу зміщення на підкладці під час осадження шарів молібдену та кремнію від 0 до - 200 В призводить до незначного збільшення товщини аморфних перемішаних зон, приблизно на 0,2 - 0,3 нм. Значне збільшення їх товщини, майже вдвічі, відбувається за збільшення потенціалу зміщення до - 300 В.

• Севрюкова Вікторія Анатоліївна (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"