Розглянуто питання взаємозв'язку структурних дефектів, параметрів профілю деформації та магнітної мікроструктури приповерхневих шарів плівок залізо-ітрієвого гранату (ЗІГ), а також встановлено фізичні закономірності трансформації магнітної мікроструктури цих плівок під впливом імплантації йонами різної маси (F⁺, O⁺, P⁺, Si⁺) і наступної термічної обробки. Встановлено, що при імплантації легкими йонами F⁺ та O⁺ з початковою енергією 90 кеВ домінують електронні енергетичні втрати, а йонами середніх мас P⁺ (65 кеВ) та Si⁺ (90 кеВ) - ядерні. В першому випадку енергетичні втрати імплантованого йона при гальмуванні в гранатовій структурі спрямовані, в основному, на утворення треку із пар Френкеля, а в другому цих втрат достатньо для розвитку каскадів вторинних зіткнень з утворенням дефектів протяжного типу. Встановлено основні типи структурних дефектів в об'ємах підкладки і плівки (сферичні кластери, дислокаційні петлі), їх характеристики (радіус, концентрація) та параметри профілю деформації в перехідних шарах підкладка - плівка і плівка - повітря. Показано залежність характеристик структурних дефектів та параметрів профілів деформації в приповерхневих шарах плівок ЗІГ від режимів йонної імплантації та типу імплантованого йона. Для різного типу йонів-імплантатів та різних доз імплантації визначено ступені відносного розвпорядкування структури приповерхневого шару гранатів, відповідні товщини аморфізованого та розвпорядкованого шарів і запропоновано модель процесу аморфізації. Встановлено односпрямований характер зміни з дозою величин ефективних магнітних полів на ядрах йонів заліза в обох магнітних підгратках для всіх використаних в роботі типів йонів-імплантатів. Зазначено, що термостимульована постімплантаційна релаксація спричинює зростання в приповерхневому імплантованому шарі відношення заселеностей йонами заліза d- і а-підграток в напрямі до стехіометричного значення, а її швидкість більша для підгратки [Fe] у порівнянні з [Y].

• Пилипів Володимир Михайлович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"