Дослідження присвячено взаємодії монокристалів РbТе і твердих розчинів Pb_0,83Sn_0,17Te, Рb_0,8Sn_0,2Те (І) і Pb_0,8Sn_0,2Te (II) з бромвидільними травниками Н₂O₂ - НВг - розчинник, розробці й оптимізації травильних композицій та методик обробки для формування високоякісної поверхні. Вивчено характер розчинення досліджуваних матеріалів в травниках систем Н₂O₂ - НВr - етиленгліколь, Н₂O₂ - НВr - ацетатна, Н₂O₂ - НВr - лактатна, Н₂O₂ - НВг - оксалатна, Н₂O₂ - НВr - тартратна, Н₂O₂ - НВг - цитратна кислоти та побудовано 24 діаграми "склад травника - швидкість травлення" з визначенням меж областей полірувальних і неполірувальних розчинів. Досліджено залежності швидкостей травлення від температури та швидкості обертання диску та показано, що процес розчинення цих напівпровідників у полірувальних розчинах Н₂O₂ - НВг - розчинник лімітується дифузійними стадіями. Із аналізу температурних залежностей швидкостей розчинення підтверджено існування компенсаційного ефекту в кінетиці хімічного травлення РbТе і Pb_1-xSn_xTe в травильних композиціях Н₂O₂ - НВr - розчинник. Виявлено вплив природи розчинника та концентрації бромідної кислоти на швидкість хімічного розчинення, полірувальні властивості розчинів та якість полірованої поверхні РbТе та Pb_1-xSn_xTe. Показано, що зі зростанням вмісту стануму в складі твердого розчину Pb_1-xSn_xTe швидкість травлення не суттєво змінюється, а області полірувальних травників на діаграмах зменшуються. Мікроструктурним аналізом, растровою електронною мікроскопією та методом спектроскопії комбінаційного розсіювання світла встановлено вплив кількісного й якісного складу травників, а також способів хімічної обробки на параметри шорсткості поверхонь РbТе і твердих розчинів Pb_1-xSn_xTe. Оптимізовано склади полірувальних травильних композицій Н₂O₂ - НВr - розчинник і технологічні режими ХДП і ХМП для видалення порушеного шару, контрольованого потоншення пластин до заданих розмірів, зняття тонких плівок і фінішного полірування монокристалів РbТе та твердих розчинів Pb_1-xSn_xTe.

• Маланич Галина Петрівна (хімічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"