Досліджено особливості формування, структуру та фазовий склад перемішаних зон у багатошаровій плівковій системі C/Si у вихідному стані та у разі відпалу. Під час осадження компонентів на межах поділу кремній/вуглець та вуглець/кремній формуються перемішані зони завтовшки 0,6 нм. При цьому зона, що сформувалася під час осадження C на Si, має більшу густину, оскільки вміщує аморфний SiC. За температури відпалу <$E800~symbol Р roman C> розмір і густина перемішаних зон ростуть. За <$E700~symbol Р roman C> спостерігається формування карбіду кремнію у зоні Si на C. Аморфна структура зон зберігається аж до <$E950~symbol Р roman C>.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"