РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІ
НАДХОДЖЕННЯ
ПОШУК
РУБРИКАТОР

Бази даних

Реферативна база даних - результати пошуку

Книжкові видання та компакт-диски
Журнали та продовжувані видання
Автореферати дисертацій
Реферативна база даних
Наукова періодика України
Тематичний навігатор
Авторитетний файл імен осіб
Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000544741<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Семеренко М. М. 
Моделювання процесу іонної імплантації / М. М. Семеренко, Н. Л. Білоконь // Вісн. Вінниц. політехн. ін-ту. - 1999. - № 5. - С. 105-107. - Бібліогр.: 7 назв. - укp.

Розглянуто деякі фізичні аспекти моделювання процесу іонної імплантації іонів фосфору в монокристалічній кремній у випадку середніх енергій імплантованих іонів. Запропоновано спрощену методику перебування проеційованих пробігів імплантованих іонів фосфору із середніми енергіями в монокристалічній кремнієвій мішені, що відрізняється високою точністю.


Індекс рубрикатора НБУВ: В379.222 + З852-03

Рубрики:
 Дефекти напівпровідників 
 Напівпровідникові прилади 

Шифр НБУВ: Ж68690 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського