Проаналізовано шляхи підвищення ефективності контролю й керування плазмохімічними процесами в мікроелектронній технології за рахунок впровадження нових підходів у реалізації контролю на підставі сучасних досягнень у цій області, а також побудови систем керування в реальному часі, розробки сучасних контролерів на базі використання моделі процесу з використанням сучасних сенсорів у колі зворотного зв'язку, розробки нових типів контролерів керування.

• Кравченко Юрій Станіславович (сільськогосподарські науки)
• Кравченко Юрій Степанович (фізико-математичні науки)
• Осадчук Владимир Степанович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"