Зазначено, що NbN і Nb-Si-N плівки осаджували на кремнієві пластини за допомогою методу магнетронного розпилення мішеней Nb і Si за різних потужностей розряду на мішені із Nb. Плівки досліджено за допомогою атомно-силового мікроскопа, дифракції рентгенівських променів, рентгенівської фотоелектронної спектроскопії, нано- і мікроіндентування. NbN плівки були наноструктуровані, тоді як Nb-Si-N плівки являли агрегацію <$E delta>-NbNx нанокристалітів, вкраплених в аморфну Si3N4 матрицю (nc-<$E delta>-NbNx/a-Si3N4). Відпал плівок у вакуумі показав, що їх інтенсивне окиснення відбувається при температурі вищій, ніж 600 <$E symbol Р>С. Для пояснення експериментальних результатів по Nb-Si-N плівках проведено моделювання NbN (001)/Si3N4 гетероструктури із перших принципів в межах молекулярної динаміки.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Іващенко Володимир Іванович (1956–) (фізико-математичні науки)
• Литвин Оксана Степанівна (фізико-математичні науки)
• Горб Леонід Григорович (хімічні науки)
• Козак Андрій Олександрович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"