Вакарюк Т. Є. Використання поруватих плівок SiOx у сенсорах на базі поверхневого плазмонного резонансу / Т. Є. Вакарюк, Ю. С. Громовой, В. А. Данько, Г. В. Дорожинський, С. А. Зиньо, І. З. Індутний, А. В. Самойлов, Ю. В. Ушенін, Р. В. Христосенко, П. Є. Шепелявий // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника : межвед. сб. науч. тр.. - 2013. - Вып. 48. - С. 89-95. - Бібліогр.: 8 назв. - укp.Наведено результати досліджень використання поруватих шарів SiOx, одержаних за допомогою термічного осадження у вакуумі під ковзним кутом, у сенсорах на базі поверхневого плазмонного резонансу (ППР). Характеристики таких плівок вивчено за допомогою оптичних та електронно-мікроскопічних методів, продемонстровано їх високу адсорбційну здатність, що дає змогу використовувати такі плівки як адсорбувальний шар в оптичних сенсорах. З'ясовано, що використання поруватих плівок SiOx забезпечує більший відгук на зміну середовища чим ППР-сенсори, порівняно з сенсорами, де використовують лише золоті плівки оптимальної товщини для певної довжини хвилі збуджувального ППР електромагнітного випромінювання. Показано шляхи подальшої оптимізації параметрів ППР-сенсорів для збільшення їх чутливості та селективності та, відповідно, розширення можливостей застосування. Індекс рубрикатора НБУВ: З843.3 + В379.226
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж60673 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|