Костюкевич Е. В. Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига / Е. В. Костюкевич, С. А. Костюкевич, П. Е. Шепелявый // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника : межвед. сб. науч. тр.. - 2013. - Вып. 48. - С. 121-129. - Библиогр.: 14 назв. - рус.Рассмотрены пленки золота, которые наносили методом термического испарения в вакууме на полированные кварцевые подложки и подвергали термическому отжигу на воздухе в течение 30 мин в интервале температур 80 - 300 <$E symbol Р>C. Кристаллическую структуру полученных образцов исследовали методом дифракции рентгеновского характеристического излучения меди. Для описания процесса реконструкции поверхности золотой пленки под действием термического отжига использовали комплексный анализ характеристик изображений поверхности, полученных с помощью атомно-силовой микроскопии (АСМ). Проведена оценка размера зерен в плоскости подложки, среднеквадратической шероховатости поверхности (СШ), функций спектральной плотности мощности (PSD) и гистограмм распределения по высоте. Показано, что у пленок поликристаллическая структура с преимущественной ориентацией кристаллитов в направлении <011>, а также есть квазиаморфная фаза золота с характерным размером зерен 5 - 10 А. С повышением температуры отжига текстура пленок становится более выраженной и размер зерен увеличивается. Максимальная вариация рельефа поверхности составляет 2,5 нм, а размеры зерен в плоскости подложки находятся в диапазоне 20 - 200 нм. В результате температурного отжига до - 120 <$E symbol Р>C средний размер кристаллитов существенно не изменяется, а изменяется лишь рельеф золотой поверхности, существенно уменьшая мелкомасштабную шероховатость. При температуре отжига свыше 150 <$E symbol Р>C наблюдался фазовый переход, обусловленный процессами перекристаллизации и приводящий к формированию кристаллитов большего размера и сглаживанию поверхностного рельефа. Індекс рубрикатора НБУВ: В378.26
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж60673 Пошук видання у каталогах НБУВ
Повний текст Наукова періодика України
![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|