Козак А. О. Структурні, механічні і оптичні властивості плазмохімічних Si - C - N плівок / А. О. Козак, В. І. Іващенко, О. К. Порада, Л. А. Іващенко, Т. В. Томіла // Журн. нано- та електрон. фізики. - 2014. - 6, № 4. - С. 04047-1-04047-5. - Бібліогр.: 32 назв. - укp.Досліджено вплив температури підкладкотримача в інтервалі температур (<$E40~-~400~symbol Р roman C>) на властивості Si - C - N плівок, осаджених за плазмохімічним методом з гексаметилдісилазану. Проведено дослідження структури, картини хімічних зв'язків, морфології поверхні, механічних властивостей та енергетичної щілини з використанням рентгенівської дифрактометрії, інфрачервоної спектроскопії, рентгенівської фотоелектронної спектроскопії, атомно-силового мікроскопу, наноіндетування та оптичним поглинанням. Встановлено, що всі плівки є рентгеноаморфними і мають низьку шорсткість поверхні. З підвищенням температури підкладкотримача до <$E400~symbol Р roman C> відбувається інтенсивна ефузія водню з плівок, що сприяє зменшенню шорсткості, а також збільшенню твердості та модуля пружності плівок. Індекс рубрикатора НБУВ: В379.226
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж100357 Пошук видання у каталогах НБУВ
Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|