РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІНАДХОДЖЕННЯ |
ПОШУК
|
РУБРИКАТОР
|
Бази даних
Реферативна база даних - результати пошуку
Книжкові видання та компакт-дискиЖурнали та продовжувані виданняАвтореферати дисертаційРеферативна база данихНаукова періодика УкраїниТематичний навігаторАвторитетний файл імен осіб|
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000569689<.>) | |||
|
Загальна кількість знайдених документів : 1 |
|||
Шварцман Л. Я. Процесс водородного восстановления трихлорсилана в многостержневых реакторах получения поликристаллического кремния - новые возможности управления для традиционных технологий / Л. Я. Шварцман, Э. А. Троценко, Е. В. Баженов, В. Н. Додонов // Сучас. проблеми металургії : зб. наук. пр.. - 2014. - 17. - С. 84-92. - Библиогр.: 4 назв. - рус. Выполнен анализ параметров управления процессом водородного восстановления трихлорсилана в "Siemens-Реакторе". Предложен новый подход к решению задачи управления процессом с оптимизацией по критерию "скорость осаждения кремния". Предложен способ определения управляемого параметра, устраняющий увеличение абсолютной ошибки измерения по мере ведения процесса. Індекс рубрикатора НБУВ: К345.5 Рубрики: Шифр НБУВ: Ж70265 Пошук видання у каталогах НБУВ  Повний текст Наукова періодика України  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця" | |||
| Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |
 |
| Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів |
 |
| Інститут проблем реєстрації інформації НАН України |
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського