Хрипунов Г. С. Разработка экономичных токопроводящих контактов для газочувствительных пленочных слоев диоксида олова / Г. С. Хрипунов, А. В. Пирогов, В. А. Новиков, Р. В. Зайцев, Л. В. Зайцева, А. Л. Хрипунова // Журн. нано- та електрон. фізики. - 2014. - 6, № 2. - С. 02016(5). - Библиогр.: 8 назв. - рус.Для снижения себестоимости перспективных для широкомасштабного применения газовых датчиков на основе пленок диоксида олова за счет использования в качестве токопроводящих покрытий пленок алюминия, проведены исследования влияния режимов работы на морфологию поверхности и кристаллическую структуру пленочных гетеросистем Al / SnO2. Выявлено, что длительная работа гетеросистем при температурах <$E400~symbol Р roman C> приводит к появлению на поверхности алюминиевой пленки, а затем и на поверхности пленочного слоя диоксида олова частиц олова с размерами до 2 мкм, которые способны нарушить свойства газочувствительные слоя. Рассмотрены физические механизмы выявленной межфазного взаимодействия. Предложенная конструкция газового датчика, в которой предусмотрено разграничение температур чувствительного слоя и токоведущих контактов, что позволяет использовать пленки алюминия в указанной приборной структуре. Індекс рубрикатора НБУВ: В372.6 + В377.15
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж100357 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|