Встановлено причини та наведено механізм руйнівної дії сил електростатичної взаємодії кремнієвого зонду з діелектричними поверхнями під час дослідження їх мікрогеометрії та механічних характеристик за методом атомно-силової мікроскопії. Проведено розрахунок сил електростатичної взаємодії 22-х кремнієвих поверхонь та визначено руйнівну дію електростатичного розряду, що виникає внаслідок трибоелектричного ефекту. Запропоновано модуль зняття електростатичного заряду, принцип роботи якого полягає у формуванні зони провідності в місці контакту 2-х діелектриків шляхом багатофотонної іонізації. Показано, що застосування такого способу нейтралізації залишкової трибоелектрики підвищує точність, надійність та відтворюваність результатів сканування.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Бондаренко Микола Олександрович (технічні науки)
• Бондаренко Максим Олексійович (технічні науки)
• Бондаренко Марина Олександрівна (хімічні науки)
• Бондаренко Марина Олександрівна (технічні науки)
• Бондаренко Марія Олександрівна (юридичні науки)
• Бондаренко Марія Олександрівна (філологічні науки)
• Білокінь Світлана Олександрівна (філологічні науки)
• Білокінь Світлана Олександрівна (технічні науки)
• Антонюк Віктор Степанович (технічні науки)
• Бондаренко Юлія Юріївна (фізико-математичні науки)
• Бондаренко Юрій Юрійович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"