The procedure for the determination of elastic parameters according to reference nanometer lithographic marks by atomic force microscopy on samples with up to microscopic sizes is proposed. Analysis of dynamic changes of elastic characteristics that makes it possible to establish the critical rotation velocity of a CD without plastic deformations has been made.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Кузьменко Олександр Іванович (хімічні науки)
• Кузьменко Артем Сергійович (1976–) (біологічні науки)
• Кузьменко Альбіна Ігорівна (технічні науки)
• Кузьменко Олександр Васильович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"