Дружинін А. О. Напівпровідниковий інтегральний елемент на основі наноструктур кремнію для інформаційних систем / А. О. Дружинін, І. Т. Когут, О. Ю. Ховерко, В. І. Голота, Ю. М. Ховерко // Сенсор. електроніка і мікросистем. технології. - 2015. - 12, № 1. - С. 100-107. - Бібліогр.: 25 назв. - укp.Розглянуто чутливий елемент акселерометра, виконаний з використанням суміщеної технології створення структур кремній-на-ізоляторі та ниткоподібних нанокристалів кремнію. На його основі розроблено малоінерційний, швидкодіючий, високочутливий до прискорення і переміщень пристрій із субмікрометровими і нанометровими топологічними розмірами. Це надало змогу реалізувати як дискретний прилад, так і елемент зінтегрованих наноелектромеханічних систем зі структурою кремній-на-ізоляторі, який забезпечує контроль переміщення з точністю 200 нм. Індекс рубрикатора НБУВ: З844.15
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж24835 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|