Досліджено вплив лазерного відпалювання на мікрорельєф поверхні й оптичні властивості нанокристалічних плівок кремнію, що одержані за методом хімічного осадження з газової фази в реакторі зниженого тиску. Показано, що під час взаємодії з лазерним випромінюванням в плівках відбувається рекристалізація, внаслідок якої має місце згладжування поверхневих неоднорідностей та формування зерені агломератів. Такі структурні зміни призводять до зменшення вмісту оксиду кремнію у плівках за рахунок скорочення площі меж зерен. У спектрі поглинання плівок спостерігається додатковий максимум за 480 нм.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Родіонова Таїса Василівна (юридичні науки)
• Гуменюк Алла Германівна (політичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"