Вперше встановлено, що відтворюваності питомої електропровідності плівкових шарів діоксиду олова, одержаних методом нереактивного магнетронного розпилення на постійному струмі, перешкоджає зміна елементного складу поверхневого шару мішені та фазова релаксація осаджуваних плівок, що виражається в їх частковій кристалізації, яка має імовірнісний характер. Вперше показано, що наявність кисню у складі газової суміші за нереактивного магнетронного розпилення на постійному струмі не тільки стабілізує елементний склад поверхневого шару мішені та перешкоджає утворенню нижчих субоксидів у зростаючій плівці діоксиду олова, а й збільшує в них критичну товщину спонтанної кристалізації. Вперше ідентифіковано, що вологість розпилюванного газу за рахунок домішково-розмірного фактора не тільки обумовлює селективну стабілізацію аморфної фази, а й перешкоджає утворенню нижчих субоксидів в плівках діоксиду олова, одержаних магнетронним розпиленням на постійному струмі. Вперше виявлено два конкуруючих термічно активованих структурних процеси, що впливають на технічні параметри газових датчиків на основі плівок діоксиду олова, одержаних методом магнетронного розпилення на постійному струмі.

• Пирогов Олександр Вікторович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"