Филатов Ю. Д. Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния / Ю. Д. Филатов, А. Г. Ветров, В. И. Сидорко, А. Ю. Филатов, С. В. Ковалев, В. Д. Курилович, М. А. Данильченко, Т. А. Прихна, А. И. Боримский, А. М. Куцай, В. Г. Полторацкий // Сверхтвердые материалы. - 2015. - № 1. - С. 63-74. - Библиогр.: 24 назв. - рус.Обоснована целесообразность применения полировальных суспензий из алмазных микропорошков, порошков нитрида бора и МАХ-фазы Ті3АlС2 при исследовании закономерностей полирования монокристаллического карбида кремния и использовании в качестве критериев эффективности процесса обработки приведенной величины энергии переноса, плотности энергии переноса и плотности колебательной энергии, затрачиваемой на образование частиц шлама. В результате компьютерного моделирования микро- и нанопрофиля обработанной поверхности построены профилограммы, по которым определены значения параметров шероховатости и характерные соотношения, связывающие их с наиболее вероятным размером частиц шлама. Індекс рубрикатора НБУВ: К960.420.252
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14159 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|