Показано можливість модифікування кремнієвих зондів атомно-силового мікроскопа тонкім зносостійким вуглецевим покриттям, що приводить до покращання їх експлуатаційних властивостей (зменшує імовірність виникнення артефактів сканування на 20 - 22 %, збільшує термін експлуатації на 45 - 55 %). Запропоновано оптимальні режими нанесення таких покриттів термічним випаровуванням у вакуумі з подальшою низькоенергетичною електронно-променевою їх мікрообробкою. Проведено перевірку якості нанесеного покриття, яка встановила зменшення субшорсткості поверхні зонда у 15 - 25 разів, а також збільшення мікротвердості та зносостійкості цих покриттів у 1,1 - 1,35 разу.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Антонюк Віктор Степанович (технічні науки)
• Білокінь Світлана Олександрівна (філологічні науки)
• Білокінь Світлана Олександрівна (технічні науки)
• Бондаренко Микола Олександрович (технічні науки)
• Бондаренко Максим Олексійович (технічні науки)
• Бондаренко Марина Олександрівна (хімічні науки)
• Бондаренко Марина Олександрівна (технічні науки)
• Бондаренко Марія Олександрівна (юридичні науки)
• Бондаренко Марія Олександрівна (філологічні науки)
• Бондаренко Юлія Юріївна (фізико-математичні науки)
• Бондаренко Юрій Юрійович (фізико-математичні науки)
• Коваленко Юрій Іванович (юридичні науки)
• Коваленко Юлія Іванівна (технічні науки)
• Коваленко Юрій Іванович (1978–) (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"