Розглянуто метод каталітичного хімічного травлення (MacEtch) як один з ефективних способів структурування кремнієвої поверхні з можливістю ефективного управління геометричними параметрами структур та їх розподілом на поверхні підкладки. Надано технологію текстурування поверхні та одержано структуровані поверхні кремнію з регулярними та нерегулярними типами поверхонь. Дану технологію можна застосовувати для нанотекстурування поверхонь кремнієвих фотоелетричних перетворювачів. Запропоновано модель фотоелектричного перетворювача з кратероподібною текстурою поверхні кремнієвої пластини з підвищеним ккд.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Нічкало Степан Ігорович (технічні науки)
• Єрохов Валерій Юрійович (технічні науки)
• Дружинін Анатолій Олександрович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"