Малеев М. В. Физические механизмы распыления мишеней из SiO2 ускоренными ионами фуллерена С60 / М. В. Малеев, Е. Н. Зубарев, В. Е. Пуха, А. Н. Дроздов, А. С. Вус // Металлофизика и новейшие технологии. - 2015. - 37, № 6. - С. 775-788. - Библиогр.: 27 назв. - рус.Исследованы физические закономерности и механизмы роста углеродных пленок и эрозии поверхности при облучении мишеней из кварца (SiO2) пучком ускоренных ионов С60 с энергией в интервале 2,5 - 10 кэВ при температуре мишени 373 К. Установлено, что рост углеродных пленок на поверхности облучаемых мишеней из SiО2 наблюдается в интервале энергий ионов 2,5 - 3,75 кэВ. При этом скорость осаждения углерода лимитируется процессом эрозии поверхности роста, интенсивность которого зависит от энергии ионов. При энергии ионов выше верхних значений указанных интервалов пленка на поверхности не формируется, и наблюдается эрозия материала мишени. Показана возможность удаления аморфного оксида с поверхности кремниевой подложки и формирование на ней эпитаксиального карбида кремния. Індекс рубрикатора НБУВ: В379.226 + В379.227
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|