Козак А. О. Вплив потоку азоту на властивості тонких аморфних Si - C - N-плівок, отриманих магнетронним розпиленням / А. О. Козак, В. І. Іващенко, О. К. Порада, Л. А. Іващенко, О. К. Синельниченко, С. М. Дуб, О. С. Литвин, І. І. Тимофєєва, Г. М. Толмачева // Сверхтвердые материалы. - 2015. - № 5. - С. 12-24. - Бібліогр.: 40 назв. - укp.Тонкі плівки Si - C - N осаджено на кремнієві підкладки реактивним магнетронним розпиленням кремній-вуглецевої мішені на постійному струмі та за різних співвідношень потоків азоту FN2 і аргону FAr. Для дослідження структури, хімічних зв'язків, морфології поверхні та механічних властивостей одержаних Si - C - N-плівок використано рентгенівську дифракцію, інфрачервону спектроскопію, рентгенівську фотоелектронну спектроскопію, атомно-силову мікроскопію та наноіндентування. Встановлено, що всі одержані тонкі плівки Si - C - N є рентгеноаморфними. Шорсткість поверхні плівок слабо залежить від FN2 і складає 0,23 - 0,28 нм. Збільшення FN2 призводить до появи і посилення Si - N- і C - N-зв'язків та послаблення Si - C-зв'язків. Тонкі плівки містять невелику кількість кисню, який утворює зв'язки Si - O і С - O, причому останні послаблюються з ростом FN2. Нанотвердість аморфних тонких плівок SiC дорівнює 23 ГПа, пружний модуль - 207 ГПа. Нанотвердість і модуль пружності тонких плівок Si - CіN зменшуються зі збільшенням потоку азоту, що пов'язано з ослабленням Si - C-зв'язків. Індекс рубрикатора НБУВ: К663.033-18
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14159 Пошук видання у каталогах НБУВ
Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|