Вивчено вплив тиску кисню в камері осадження на структуру, морфологію, оптичні та електричні властивості легованих алюмінієм плівок ZnO, осаджених за допомогою методу пошарового росту (МПР) у магнетронному розпиленні (МР) на скляних підкладках. Проаналізовано вплив застосування традиційного одноетапного підходу та запропонованого МПР у МР на властивості плівок ZnO, легованих алюмінієм. Встановлено, що зі зменшенням тиску кисню в камері осадження покращується структура, збільшується пропускання в видимій області спектра випромінювання та зменшується питомий опір плівок ZnO:Al. Показано, що застосування МПР у МР надає можливість виростити прозорі провідні плівки ZnO:Al з вищими робочими параметрами, у порівнянні з плівками, сконденсованими традиційним підходом в МР. За допомогою МПР вирощено плівки ZnO:Al з електричним опором 6,1x10<^>-4 Ом-см і пропусканням у видимій області спектра випромінювання на рівні 95 %, що є перспективним для використання їх в приладах фотовольтаїки.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Євтушенко Альона Іванівна (фізико-математичні науки)
• Євтушенко Арсеній Іванович (фізико-математичні науки)
• Биков Олександр Іванович (фізико-математичні науки)
• Литвин Оксана Степанівна (фізико-математичні науки)
• Ткач Василь Миколайович (фізико-математичні науки)
• Ткач Володимир Миколайович (економічні науки)
• Ткач Володимир Михайлович (історичні науки)
• Куцай Олександр Михайлович (технічні науки)
• Старик Сергій Петрович (технічні науки)
• Карпенко Олена Юріївна (філологічні науки)
• Душейко Михайло Григорович (технічні науки)
• Лашкарьов Георгій Вадимович (1937–2019) (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"