Проаналізовано результати досліджень властивостей плівок оксиду кремнію з вбудованими у них нановключеннями кремнію, а також технологічні підходи до оптимізації їх світловипромінювальних властивостей. Описано термодинамічний підхід до вивчення процесу формування рівноважних станів у системі кремній - оксид кремнію за термостимульованого розпаду субоксидів кремнію, що призводить до утворення кремнієвих нановключень в оксидній матриці. Сучасні методи діагностики у мікроелектроніці розглянуто в аспекті їх адаптації до дослідження плівкових нанокомпозитів, виготовлених на основі кремнію. Розглянуто можливі перспективні розробки наноелектронних приладів та пристроїв (світлодіодів, сонячних перетворювачів, елементів пам'яті), виготовлених з використанням кремнієвих плівкових нанокомпозитів.

• Лісовський Ігор Петрович (1947–) (фізико-математичні науки)
• Саріков Андрій Вікторович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"