До типової схеми зворотного розсіяння додається монітор-переривник пучка прискорених іонів. Процедура вимірювання товщини тепер потребує набору двох спектрів. Один спектр отримується для досліджуваної мішені, а другий - для мішені, що імітує товсту підкладку. Однакові експозиції за набору обох спектрів забезпечуються монітором-переривником. Якщо підібрати підкладку з того ж самого хімічного елемента, що й досліджувана мішень, то кінцева формула для розрахунку товщини значно спрощується. Сфера застосування методу поширюється як на самопідтримуючі плівки, так і на поверхневі шари.

 Наукова періодика України 

---

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"