Проведены исследования структуры и механических свойств тонких пленок системы Nb - Al - N, полученных при магнетронном распылении мишеней из ниобия и алюминия в атмосфере Ar - N2. Показано, что с ростом концентрации алюминия структура тонких пленок из нанокристаллической превращается в нанокомпозитную, состоящую из нанокристаллитов твердых растворов в матрице из аморфного нитрида алюминия. Твердость, модуль упругости и предел текучести тонких пленок Nb - Al - N исследовали с помощью метода наноиндентирования в режиме непрерывного контроля жесткости контакта. Установлено, что переход структуры тонких пленок Nb - Al - N от нанокристаллической к нанокомпозитной приводит к росту твердости и снижению модуля упругости в результате формирования тонкой аморфной прослойки между зернами нанокристаллитов. Большое значение отношения твердости к модулю упругости для нанокомпозитных тонких пленок Nb - Al - N указывает на то, что они являются перспективным материалом для износостойких покрытий.

• Погребняк Анатолій Дмитрович (фізико-математичні науки)
• Соболь Олег Валентинович (фізико-математичні науки)
• Соболь Оксана Вікторівна (хімічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"