Досліджено вплив парціального тиску N₂ в процесі незбалансованого магнетронного розпилення на мікроструктуру, твердість і термостабільність нанокомпозитного покриття CrZrSiN. Одержано типову структуру нанокомпозиту, що складається з кристалічної і аморфної фази, розподіл цих фаз змінюється зі збільшенням парціального тиску N2. В N_1s-спектрах присутні два піки, що характеризують азот в фазах CrZrN і SiN_x, відношення інтенсивностей SiN_x- і CrZrN-піків зростає зі збільшенням парціального тиску N₂, що свідчить про збільшення аморфної фази в нанокомпозитних мікроструктурах. У міру збільшення парціального тиску N₂, твердість покриття CrZrSiN знизилася з 38 до 30 ГПа в зв'язку зі збільшенням кількості аморфної фази SiN_x. Після випробування на термічну стабільність значення твердості цих CrZrSiN-покриттів підтримували на рівні ~ 30 ГПа до температури 800 °C, але твердість швидко знижувалась до 18 ГПа після відпалу за температури 900 °C. Різка зміна твердості за температури понад 900 °C пов'язана з утворенням фази Cr₂O₃ в покритті CrZrSiN.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"