Порада О. К. Тверді плазмохімічні a-SiCN-покриття / О. К. Порада, А. О. Козак, В. І. Іващенко, С. М. Дуб, Г. М. Толмачева // Сверхтвердые материалы. - 2016. - № 4. - С. 57-66. - Бібліогр.: 32 назв. - укp.Аморфні SiCN-покриття було осаджено на кремнієві підкладки методом плазмохічічного осадження (PECVD) з використанням гексаметилдісилазану як основного прекурсора. Досліджено вплив температури осадження на структуру, хімічний склад і механічні властивості покриттів. Встановлено, що за температур до 400 °C мало місце осадження гідрогенізованих аморфних SiCN (a-SiCN:H)-покриттів, твердість яких не перевищує 23 ГПа. З подальшим підвищенням температури розподіл міцних зв'язків Si - C, Si - N і C - N в покриттях практично не змінюється, а кількість слабких водневих зв'язків C - H, Si - H і N - H зменшується. Як наслідок такого перерозподілу хімічних зв'язків при температурах 650 - 700 °C осаджуються a-SiCN-покриття з твердістю понад 32 ГПа. Відпал у вакуумі за 1 200 °C не впливає помітно на структуру, твердість і модуль пружності a-SiCN-покриттів. Індекс рубрикатора НБУВ: К663.6-18
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14159 Пошук видання у каталогах НБУВ
Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|