Козак А. О. Оптичні властивості плазмохімічних гідрогенізованих Si - C - N плівок / А. О. Козак, В. І. Іващенко, О. К. Порада, Л. А. Іващенко, В. Я. Малахов, Т. В. Томіла // Журн. нано- та електрон. фізики. - 2015. - 7, № 3. - С. 03040-1-03040-6. - Бібліогр.: 36 назв. - укp.Досліджено структурні властивості та енергетичну щілину Si - C - N плівок, осаджених за допомогою плазмохімічного методу з гексаметилдісилазану, в інтервалі температур <$E200~-~700~symbol Р roman C>. Плівки було одержано на кремнієвих і скляних підкладках, що надало змогу провести рентгеноструктурне дослідження та вивчити спектри інфрачервоного (FTIR) і оптичного пропускання. Представлення широкої смуги FTIR спектрів у вигляді гаусіан свідчить, що основний внесок роблять коливання Si - C, Si - N і Si - O зв'язків. Показано, що з підвищенням температури відбувається інтенсивна ефузія водню з плівок. Енергетична щілина зменшується з 2,3 до 1,6 еВ зі зміною температури підкладки з <$E200~-~700~symbol Р roman C>. Індекс рубрикатора НБУВ: Г595 + Г582.2
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж100357 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|