Перекрестов В. И. Получение пленок карбида кремния методом магнетронного распыления составной углерод-кремниевой мишени / В. И. Перекрестов, А. С. Корнющенко, И. В. Загайко // Журн. нано- та електрон. фізики. - 2015. - 7, № 2. - С. 02016-1-02016-5. - Библиогр.: 29 назв. - рус.Проанализированы известные методы получения конденсатов SiC, политипы этого соединения, а также предложена методика получения карбида кремния посредством магнетронного распыления составных мишеней. Приведены расчеты оптимальных геометрических характеристик составленной из кремния и графита распыляемой магнетроном мишени. По результатам исследования структуры конденсатов SiC при помощи ПЭМ и дифракции электронов, а также на основании определения элементного состава при использовании энерго-дисперсионного анализа были уточнены геометрические характеристики составной мишени, а также установлены оптимальные технологические условия получения конденсатов в виде политипа 3C - SiC, с близким к стехиометрическому элементным составом. Індекс рубрикатора НБУВ: В379.2
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж100357 Пошук видання у каталогах НБУВ
Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|