Соболь О. В. Влияние высоковольтного импульсного потенциала, подаваемого на подложку, на фазовый состав и структуру вакуумно-дуговых покрытий TiN / О. В. Соболь, Н. В. Пинчук, А. А. Андреев // Журн. нано- та електрон. фізики. - 2015. - 7, № 2. - С. 02042-1-02042-5. - Библиогр.: 16 назв. - рус.Проанализировано влияние подачи высоковольтного потенциала в импульсной форме разной длительности на формирование преимущественно ориентированных кристаллитов и напряженно-деформированное состояние TiN вакуумно-дуговых покрытий. Показано, что осаждение покрытий в условиях высоковольного каскадообразующего воздействия приводит к росту кристаллитов с осью текстуры [110] и изменению напряженно-деформированного состояния: усилению деформации в группе кристаллитов с осью [110] и уменьшению деформации в группе кристаллитов с осью [111]. Полученные результаты объяснены увеличением подвижности атомов и процессами упорядочения в области каскадов смещений, образующихся под действием бомбардирующих высокоэнергетичных ионов, ускоренных в поле высоковольного импульсного потенциала. Построена обобщенная зависимость типа текстуры от величины импульсного потенциала и влияния доли длительности импульса, подаваемого на подложку, от общего времени осаждения. Індекс рубрикатора НБУВ: К663.033.05-1
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж100357 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|