![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Книжкові видання та компакт-диски ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Журнали та продовжувані видання ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Автореферати дисертацій ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Реферативна база даних ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Наукова періодика України ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Тематичний навігатор ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000623166<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Рогоз В. Н. Влияние безвакуумного отжига на морфологию покрытий NbNx, NbNx : Si / В. Н. Рогоз, А. П. Кузьменко, О. В. Соболь, А. Плющик // Журн. нано- та електрон. фізики. - 2016. - 8, № 2. - С. 02019-1-02019-5. - Библиогр.: 9 назв. - рус.Описаны особенности изменения нитридных покрытий NbNx и легированных атомами Si NbNx : Si с добавлением примеси кремния и без него. Образцы были получены с помощью метода магнетронного осаждения при отрицательном потенциале Us = - 10 В на подложку из кремния. После осаждения проводился высокотемпературный отжиг 800 °C в атмосфере воздуха. Індекс рубрикатора НБУВ: К663.235-18
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж100357 Пошук видання у каталогах НБУВ
Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|