Цифровим РЕМ-зображенням внаслідок різноманітних фізичних факторів роботи растрових електронних мікроскопів притаманні значні геометричні спотворення. Мета дослідження - встановлення та ефективне врахування геометричних спотворень для підвищення точності одержання просторових кількісних параметрів мікроповерхонь об'єктів, які досліджуються за допомогою РЕМ. Завдання це є вкрай важливим, особливо тепер, зокрема, за потреби контролю технологічних процесів виробництва на мікронному та субмікронному рівнях у машинобудуванні, мікроелектроніці та багатьох інших. Це, своєю чергою, надає змогу одержувати необхідні технологічні властивості різноманітних об'єктів, а отже, підвищувати їх надійність та ефективність. Для встановлення та дослідження цифрових РЕМ-зображень, одернжаних на РЕМ JSM 7100F використано спеціальний тест-об'єкт (голографічна тест-решітка) з роздільною здатністю r = 1425 лін/мм. Цифрові РЕМ-зображення одержано на діапазоні збільшень від 2000<^>x до 40 000<^>x. Опрацювання (вимірювання) цифрових РЕМ-знімків виконано за допомогою спеціальних підпрограм "Test-Measuring" і "Polycalc" програмного комплексу "Dimicros". Одержані лінійні (масштабні) і нелінійні (дисторсійні) складові геометричних спотворень цифрових РЕМ-зображень, зокрема, дійсні значення збільшень РЕМ-зображень тест-об'єктів показали, що їх відхилення від встановлених значень за шкалою РЕМ становлять: уздовж осі x знімка - від приблизно -1 % (за M<^>x від 2000<^>x до 5000<^>x) до +2,5 - 4 % (за M<^>x від 7500<^>x до 40 000<^>x), а вздовж осі у знімка - від 0 - +1 % (за M<^>x від 2000<^>x до 5000<^>x) до +3 - 4 % (за M<^>x від 7500<^>x до 40 000<^>x). Точність вимірів M<^>x

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Іванчук Олег Михайлович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"