Встановлено основні механізми електронного транспорту в широкому діапазоні напруженостей електричних полів і температур через збагачені кремнієм плівки SiO_x та нанокомпозитні плівки SiO₂(Si), що містять HK Si. Основними механізмами струмопереносу через досліджувані плівки є механізм провідності зі змінною довжиною стрибка (механізм Мотта), струм, обмежений об’ємним зарядом (СООЗ), механізм Пула - Френкеля, тунелювання за Фаулером - Нордгеймом. Реалізація того чи іншого механізму струмопереносу суттєво залежить від вмісту надлишкового кремнію, температури виміру та прикладеної напруги. Вперше досліджено вплив відпалу у водні та у вакуумі на електропровідність плівок SiO_x(Si) , сформованих методом іонно-плазмового розпилення. Як правило, відпал у водні приводив до значного звуження енергетичного діапазона розміщення пасток, що впливають на провідність за напруг до 0,4 В у порівнянні з вихідною плівкою. Для U > 2 В відпал у водні привів до зміни механізму провідності: механізм Пула - Френкеля змінився на механізм провідності СООЗ.

• Стеблова Ольга Вікторівна (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"