Borisova A. Aluminum oxynitride dielectric films prepared by reactive sputtering = Діелектричні плівки оксинітриду алюмінію, отримані реактивним розпиленням / A. Borisova, A. Machulyansky, M. Rodionov, V. Smilyk, Yu. Yakimenko // Электроника и связь. - 2015. - 20, № 3. - С. 31-36. - Бібліогр.: 13 назв. - англ.Вивчено вплив на електрофізичні та хімічні властивочті діелектричних плівок оксинітриду алюмінію технологічних режимів їх формування методом реактивного магнетронного напилення. Досліджено методом ІЧ-спектроскопії, ОЖЕ-спектроскопії та електронної мікроскопії електронний та структурний склад синтезованих плівок. Обговорено властивості спектральних та електрофізичних параметрів (питомого опору, електричної міцності, термічної стабільності та хімічної стійкості) плівок. Надано рекомендації щодо режимів синтезу плівок з метою забезпечення оптимізації електрофізичних параметрів на задані експлуатаційні властивості. Індекс рубрикатора НБУВ: В379.226
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж69367 Пошук видання у каталогах НБУВ
Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|