Вимірювання у нанотехнологіях: методи і засоби : навч. посіб. / П. Р. Гамула, М. І. Дацюк, В. Я. Крайовський, Я. Т. Луцик, І. П. Микитин; ред.: Б. І. Стадник; Нац. ун-т "Львів. політехніка". - Львів : Вид-во Львів. політехніки, 2016. - 186 c. - Бібліогр.: с. 178-186 - укp.Розглянуто проблематику вимірювань у нанометровому діапазоні. Описано сучасні методи та засоби, що використовуються у нанометрії: інтерферометрично-оптичні засоби, різноманітні види мікроскопії, зокрема, сканувальну тунельну, атомно-силову й оптичну мікроскопію ближнього поля тощо. Особливу увагу звернено на оптичні сенсори сканувальної мікроскопії та кантилевери. Розглянуто питання метрологічного забезпечення засобів вимірювань нанометрового діапазону. Індекс рубрикатора НБУВ: Ж10 я73 + Ж620 я73
Рубрики:
Шифр НБУВ: ВС62425 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|