Висвітлено проблеми розробки нових принципів еліпсометрії й еліпсометричних методів вимірювання параметрів ультратонких поверхневих шарів з товщиною меншою 20 нм. На основі встановлених закономірностей еліпсометричного відгуку вирішено проблему незалежного визначення параметрів ультратонких прозорих плівкових структур за умов сильного кореляційного зв'язку між цими параметрами, що дозволяє суттєво підвищити точність одержуваного результату. Запропоновано методику розрахунку середньоквадратичної похибки параметрів поглинаючої плівки, яка дозволяє об'єднати аналіз чутливості еліпсометричних вимірювань із кореляційним аналізом і спрощує процедуру оптимізації умов еліпсометричного експерименту.

• Влох Ростислав Орестович (1964–) (фізико-математичні науки)
• Коструба Андрій Михайлович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"