Проведено дослідження впливу потенціалу, поданого на підкладку, і зміни відстані "підкладка - катод" на процеси осадження, розпилення, а також механічні характеристики. Встановлено, що присутність аргону у процесі іонного бомбардування призводить до збільшення швидкості розпилення, а наявність активного газу азоту призводить до зменшення швидкості осадження. Це пов'язано з формуванням нітридів на поверхні.

 Наукова періодика України 

---

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"