Проведено моделювання п'єзоелектричних властивостей наноструктурованого шару ZnO та показано можливість підвищення ефективності перетворення енергії та зменшення товщини активного шару у порівнянні з полікристалічним. Проаналізовано чутливість сенсорів на об'ємних (ОАХ) і поверхневих акустичних хвилях (ПАХ) з наноструктурованим шаром різноманітної морфології та підтверджено покращання чутливості сенсорів до масового навантаження як результат використання наноструктурованого шару за рахунок збільшення площі поверхні чутливого елемента. Встановлено закономірності між параметрами синтезу та структурними властивостями ZnO у формі нанострижнів на підкладках різних типів, що дозволило удосконалити технологію синтезу, досягнути стабільності та повторюваності результатів формування матеріалу. Продемонстровано можливість застосування технології низькотемпературного синтезу наноструктурованого ZnO у поєднанні з класичними мікроелектронними технологіями щодо виготовлення пристроїв електроніки. Розроблено та досліджено високочутливі макетні зразки сенсорів ультрафіолетового (УФ) випромінювання на основі резонатора на ПАХ на підкладці 128°YX - LiNbO₃ з аподизованими зустрічно-штировим перетворювачем (ЗШП) і реверсивним багатосмужковим відгалужувачем (reversing multistrip coupler - RMSC) і чутливим шаром на основі наноструктурованого ZnO та ZnO : Al. За допомогою методу вимірювання за зсувом частоти резонатора досягнуто більший, у порівнянні з існуючими аналогами, зсув частоти (138 ± 1,9 кГц) за меншої інтенсивності випромінювання (46 мкВт/см²) з довжиною хвилі 365 ± 3 нм. Запропоновано метод зменшення до 45 с часу відновлення сенсора на основі наноструктурованого ZnO та ZnO:Al шляхом обробки плазмою газового розряду поверхні сенсора.

• Ульянова Вероніка Олександрівна (1989–) (технічні науки)
• Ульянова Вікторія Олегівна (філологічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"