Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000659864<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Sabov T. M. Oxygen ion-beam modification of vanadium oxide films for reaching a high value of the resistance temperature coefficient / T. M. Sabov, O. S. Oberemok, O. V. Dubikovskyi, V. P. Melnik, V. P. Kladko, B. M. Romanyuk, V. G. Popov, O. Yo. Gudymenko, N. V. Safriuk // Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics. - 2017. - 20, № 2. - С. 153-158. - Бібліогр.: 13 назв. - англ.A new method to prepare vanadium oxide with a high temperature coefficient of resistance (TCR) and low resistance for uncooled micro-bolometers has been proposed. Amorphous vanadium oxide films with V2O3 phase inclusions have been fabricated on silicon and silica substrates at the temperature <$E200~symbol Р roman C> by using the direct current reactive magnetron sputtering method in controlled Ar/O2 atmosphere. Additional oxygen ion implantation in the deposited films allows to synthesize vanadium oxide with crystalline inclusions of VO2 and V2O5 phases under the low temperature annealing. The following long low-temperature annealing provides formation of VOx (at <$Ex~symbol О~2>) film with the TCR close to <$E7,0~% "/" ~symbol Р roman C>. Індекс рубрикатора НБУВ: В379.226 + В379.271.51
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж16425 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|