Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000660463<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Филатов Ю. Д. Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники / Ю. Д. Филатов, В. И. Сидорко, С. В. Ковалев, А. Ю. Филатов, Г. Монтей // Сверхтвердые материалы. - 2017. - № 4. - С. 80-87. - Библиогр.: 17 назв. - рус.Показана возможность in-process мониторинга формы поверхностей оптических деталей непосредственно в процессе полирования с использованием технологии конфокальной хроматической визуализации. Установлено, что существует линейная зависимость между отклонением формы сигнала от прямоугольной и изменением формы обрабатываемой поверхности. Індекс рубрикатора НБУВ: К960.420.252 + З844.1-06
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14159 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Наукова періодика України
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|