РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІ
НАДХОДЖЕННЯ
ПОШУК
РУБРИКАТОР

Бази даних

Реферативна база даних - результати пошуку

Книжкові видання та компакт-диски
Журнали та продовжувані видання
Автореферати дисертацій
Реферативна база даних
Наукова періодика України
Тематичний навігатор
Авторитетний файл імен осіб
Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000660463<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Филатов Ю. Д. 
Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники / Ю. Д. Филатов, В. И. Сидорко, С. В. Ковалев, А. Ю. Филатов, Г. Монтей // Сверхтвердые материалы. - 2017. - № 4. - С. 80-87. - Библиогр.: 17 назв. - рус.

Показана возможность in-process мониторинга формы поверхностей оптических деталей непосредственно в процессе полирования с использованием технологии конфокальной хроматической визуализации. Установлено, что существует линейная зависимость между отклонением формы сигнала от прямоугольной и изменением формы обрабатываемой поверхности.


Індекс рубрикатора НБУВ: К960.420.252 + З844.1-06

Рубрики:
 Шліфування та полірування оптичного скла 
 Мікрорадіоелектронна апаратура. Мікроелектроніка 

Шифр НБУВ: Ж14159 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Повний текст  Наукова періодика України 
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського