Визначено конвергенцію незвичайних фізичних явищ у мікромініатюрних виробах з урахуванням зменшення лінійних розмірів компонентів і зміни співвідношень дії різних видів сил, що дозволяє створити принципово нові технічні рішення для покращання електрофізичних характеристик мікрокомпонентів і техніко-економічних показників їх виробництва. Вперше запропоновано метод і технологію створення мікроелектромеханічних систем (МЕМС) багатозондових підмикальних пристроїв (БПП) для контролю електричних параметрів багатошарових комутаційних структур, а також вихідного та функціонального контролю електронних компонентів із матричними кульковими виводами, які засновані на поєднанні технологій гнучких полімерних шлейфів, матричних кулькових виводів і пресування з повітряною подушкою, що забезпечує підвищення щільності розміщення зондів на площині, надійність контактування та інтелектуальні властивості, виключає помилки контролю. Набув подальшого розвитку метод проектування МЕМС шляхом використання узагальнених сил, маси, координат та врахування мініатюризації механічних та електричних компонентів, що дозволяє скласти єдину систему рівнянь для статичного та динамічного режиму роботи МЕМС. Розглянуто математичні моделі чутливих елементів на основі балок складної конструкції, резонаторів у вигляді зустрічно-штирьових систем, п'єзоперетворювачів механічної енергії в електричну, що дозволяє покращити електро-фізичні властивості компонентів. Висвітлено метод управління електрофізичними параметрами компонентів, за різних поєднань діючих у МЕМС сил, що дозволяє підвищити швидкодію механічних і теплових актюаторів і датчиків, чутливість і добротність мікромеханічних резонансних систем. Розглянуто положення теорії байєсівських статистичних рішень, які об’єднують експертні оцінки та результати експериментів, що забезпечує вибір кращого варіанта ТП серед альтернативних. Розвинуто положення теорії рекурентних методів прийняття рішень у стохастичних процесах з прибутками, що дозволяє оптимізувати стратегії моніторингу складних технологічних процесів. Проаналізовано метод прогнозування та розрахунку виходу придатних компонентів МЕМС на основі базових елементів конструкції, який дозволяє враховувати вплив технологій виготовлення, конструкцій, матеріалів, обладнання та організаційних вимог виробництва на вихід придатних.

• Палагін Віктор Андрійович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"