Тверді плівки на основі Si, C, N з аморфною структурою та наднизькою шорсткістю одержано на кремнієвих підкладках за допомогою плазмохімічного (plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD) методу із гексаметиддісилазану з додаванням водню і азоту за різних напруг зміщення Ud на підкладках (від -5 до -250 В). Досліджено фотолюмінесцентні й оптичні спектри одержаних зразків, а також їх твердість. Для інтерпретації властивостей плівок вивчено їх інфрачервоні спектри поглинання. У разі негативних напруг зміщення на підкладці за модулем вищими, ніж -100 В, спектри фотолюмінесценції мають два піки, стають меншими за інтенсивністю та зміщеними в низькоенергетичну область спектру. Допускається, що це пов'язано зі збільшенням кількості Si-C зв'язків в аморфній Si-C-N матриці та з ростом невпорядкованості аморфної структури плівок у разі збільшення напруги Ud, що випливає із аналізу спектрів інфрачервоного поглинання, оптичних спектрів, а також результатів дослідження твердості плівок.

• Порада Олександр Карпович (технічні науки)
• Козак Андрій Олександрович (фізико-математичні науки)
• Іващенко Володимир Іванович (1956–) (фізико-математичні науки)
• Іващенко Людмила Анатоліївна (економічні науки)
• Іващенко Людмила Андріївна (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"