Представлены технологии получения монокристаллического кремния различными методами. Показано, что образование структурных дефектов в кремнии при воздействии теплового поля связано с диффузионными процессами. При радиационной обработке монокристаллов определяющее влияние надефектообразование оказывает присутствие примесей, а именно углерода и кислорода. Использование эффекта туннельной кристаллизации обеспечивает устранение влияния примесей в монокристаллах и создает условия их роста с равновесным распределением дефектов.

• Верховлюк Анатолій Михайлович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"