![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Книжкові видання та компакт-диски ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Журнали та продовжувані видання ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Автореферати дисертацій ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Реферативна база даних ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Наукова періодика України ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Тематичний навігатор ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000665151<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Филипенко О. І. Технологічні дефекти виробництва кремнієвих підкладок для функціональних відбиваючих поверхонь МОЕМС-перемикачів / О. І. Филипенко, О. О. Чала, М. І. Відешин // Системи упр., навігації та зв'язку. - 2017. - Вип. 2. - С. 61-63. - Бібліогр.: 9 назв. - укp.Розглянуто основні дефекти та способи їх мінімізації, що виникають під час виробництва кремнієвих підкладок, які використовуються у якості функціональних відбиваючих поверхонь для МОЕМС-перемикачів та безпосередньо впливають на якість оптичних дзеркал та внесені втрати у оптичну систему в цілому. Індекс рубрикатора НБУВ: З844.16
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж73223 Пошук видання у каталогах НБУВ
Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|