РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»


Бази даних


Реферативна база даних - результати пошуку


Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000665151<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Филипенко О. І. 
Технологічні дефекти виробництва кремнієвих підкладок для функціональних відбиваючих поверхонь МОЕМС-перемикачів / О. І. Филипенко, О. О. Чала, М. І. Відешин // Системи упр., навігації та зв'язку. - 2017. - Вип. 2. - С. 61-63. - Бібліогр.: 9 назв. - укp.

Розглянуто основні дефекти та способи їх мінімізації, що виникають під час виробництва кремнієвих підкладок, які використовуються у якості функціональних відбиваючих поверхонь для МОЕМС-перемикачів та безпосередньо впливають на якість оптичних дзеркал та внесені втрати у оптичну систему в цілому.


Індекс рубрикатора НБУВ: З844.16

Рубрики:

Шифр НБУВ: Ж73223 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Повний текст  Наукова періодика України 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського