Филатов Ю. Д. Нанополирование подложек для оптики и микроэлектроники / Ю. Д. Филатов, В. И. Сидорко, О. Я. Юрчишин // Вісн. Нац. техн. ун-ту України "КПІ". Сер. Машинобудування. - 2016. - Вип. 1. - С. 133-138. - Библиогр.: 10 назв. - рус.В результате исследования полирования монокристаллических материалов показано, что полирование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов из монокристаллов карбида кремния целесообразно осуществлять с использованием полировочной суспензии порошков на основе МАХ-фазы Ti3AlC2 и коллоидных систем наночастиц, а монокристаллов сапфира - с помощью суспензии из алмазных микропорошков, порошков кубического нитрида бора и MAX-фазы Ti3AlC2. Нанополирование поверхностей элементов монокристаллов сапфира следует осуществлять при использовании коллоидной системы наночастиц или традиционных составов на основе коллоидного диоксида кремния. Показано также, что производительность полировки монокристаллов карбида кремния и сапфира обратно пропорциональна энергии переноса, максимальное значение которой соответствует минимальной шероховатости. Індекс рубрикатора НБУВ: З85-06
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж29126/маш. Пошук видання у каталогах НБУВ
Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|