С помощью методов рентгеновской дифрактометрии исследованы особенности роста многослойных рентгеновских зеркал (MP3) Zr/Mg, изготовленных по методу прямоточного магнетронного распыления. Показано, что MPЗ Zr/Mg благодаря высокой степени периодичности слоев и малому несоответствию параметров их кристаллических решеток в 1,2 % когерентно рассеивают рентгеновское излучение с <$Elambda~=~0,154> нм. В данной работе впервые была использована обработка и анализ данных когерентного рассеяния для описания особенностей формирования зеркал. Полученные результаты в сочетании с данными малоугловой рентгеновской дифракции позволили установить диапазон толщин слоев магния (до <$Esymbol @~4,8~-~5,2> нм), в котором пленка является несплошной. Показано, что MPЗ Zr/Mg с толщинами слоев Mg более 5,2 нм имеют малую межслоевую шероховатость (<$Esigma~symbol @~0,4> нм) и способны обеспечить высокую отражательную способность в диапазоне длин волн 25 - 35 нм.

• Кондратенко Валерій Володимирович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"